연구개발 내용

3D Simulation

증착장비의 중요한 기구의 안정성 및 스퍼터 증착소스의 자장 구조에 대해 효율적인 특성을 확보하기 위해 3차원 해석을 통한 선행 작업을 진행하여 최적화된 장비 및 증착 소스 공급에 주력하고 있습니다.

신규 장비 공정 개발

고객의 신규 제품에 적합한 장비를 제조하기 위해 다양한 증착장비 및 증착 소스를 개발하고 있으며, 당사에서 보유한 장비를 활용한 선행 테스트를 통해 증착박막의 특성 평가 및 분석 등을 지원하고 있습니다.

▷ 신규 장비 개발 : 신규 R2R / In-Line / Cluster / 일반 산업분야 증착장비
▷ 신규 소스 개발 : 표면처리 플라즈마소스 및 열처리소스 / 선형열증착원 / 스퍼터소스 / PECVD / 하이브리드 플라즈마소스
▷ 제품 선행 개발 지원 : 보유 기술 활용 개발 지원 / 신규 증착소스에 의한 신제품 개발 지원 / 신규 제품 기초 공정개발 지원
▷ 정부지원 과제 참여 : 국책과제 산-산-학-연 컨소시엄 구성 및 공동개발 참여

제품 응용 분야 공정 개발

에이티(주) 기술연구소에서는 장비 공급에 따른 장비 공정 최적화와 생산 제품의 특성 최적화를 위한 공정 기술을 함께 지원해 드리고 있습니다. 이에 기술연구소는 증착 박막의 특성 및 응용 제품의 특성 개선을 위한 박막 공정 기술을 지원해 드리기 위해 다양한 생산 장비 개발 과제를 통해 박막 기술을 함께 개발하고 있습니다..