기술연구소

"성실과 신뢰를 바탕으로 기술 창조, 고객과 함께 하는 에이티㈜가 함께 하겠습니다."

기술연구소 소개

에이티(주)



에이티(주) 기술연구소는 2007년 설립되어 R2R 진공 증착 장비 및 기타 진공증착 장비, 플라즈마 소스를 이용한 표면처리와 증착 분야에 차별화된 장비 제조기술 및 진공 증착 공정기술을 개발하여 최적화된 장비 기술을 제공하기 위해 끊임 없는 연구 개발을 진행하고 있습니다.
기술연구소는 PVD(물리가상증착) 및 PECVD(플라즈마 환경 화학가상증착) 방식을 적용한 진공 R2R 증착장비 및 In-Line 증착 장비를 비롯하여 다양한 산업분야에 적용할 수 있는 산업용 진공 증착 장비 개발에 노력하고 있습니다. 이를 위해 주요 증착 소스 개발과 R2R 및 In-Line 장비의 기관 이송에 대한 기구 및 PLC/HMI 등 제어기술 개발 등 핵심 기술을 내제화 하여 최적화된 증착 장비 공급을 주요 목표로 하고 있으며, 축적된 장비 제작 기술과 박막증착 기술을 기반으로 고객의 니즈에 부합하는 신규 제품 개발 및 신규 사업 창출에 적합한 장비를 제작하기 위한 노력을 하고 있습니다.

장비 제조기술 개발

R2R 증착장비를 비롯한 In-Line / Culster / 일반 산업용 증착장비에 이르기까지 다양한 산업에 적용할 수 있는 진공 증착 장비를 개발하여 R&D 장비부터 양산장비까지 넓은 분야의 장비 공급이 가능하도록 연구개발을 진행하고 있습니다.

▷ 터치필름분야 : ITO 터치필름, 메탈메쉬 터치필름
▷ 전자소자분야 : FCCL, COF, 기타 응용제품
▷ 에너지분야 : CIGS 태양전지, 열차단 윈도우필름, Low-e Glass, 리튬이차전지
▷ 디스플레이분야 : Color Filter, TFT 증착
▷ 생활가전분야 : 가전제품 외장재 Deco 증착
▷ 일반산업분야 : 가공 Tool 고경도 증착, 외장재 필름 Deco 증착
▷ 열처리응용분야 : 필름 outgas 제거, 후열처리 공정 응용분야
▷ 기타 산업분야 : 철강산업 분야

증착소스 개발

R2R 증착장비 및 In-Line / Cluster / 일반 산업용 증착장비에 다양하게 적용되고 있는 선형열증착원 및 열처리 히터, 스퍼터, 선형이온빔 소스 등 증착장비의 핵심기술은 에이티(주) 기술연구소에서 기술개발을 통해 내제화하였으며, 장비 특성을 더욱 개선하기 위한 연구를 진행하고 있습니다. 또한, PVD 외에 PECVD 소스 개발을 진행하여 PVD 외에 넓은 분야의 제품 생산에 적용할 수 있도록 신규 소스 개발을 지속적으로 진행하고 있습니다.

에이티(주) 기술연구소는 다양한 증착소스 및 열처리 소스를 최적화기 위해 3차원 simulation tool을 사용하여 연구개발에 활용하고 있으며, 고객의 니즈에 적합한 증착장비를 개발하고자 노력하고 있습니다.

▷ 열증착원 : 선형열증착원
▷ 열처리 소스 : 할로겐 히터, 근적외선 히터, Sheath 및 금속성 히터
▷ 플라즈마 표면처리 소스 : DC, Puylse DC, AC, RF 플라즈마 소스
▷ 스퍼터 소스 : 마그네트론 스퍼터 소스
▷ PECVD 소스 : CCP 방식, 선형 플라즈마 기상증착 소스

연구개발 응용 분야

에이티(주)의 진공증착장비 및 증착소스 기술은 터치필름 및 디스플레이, 전자소자 등 IT 산업분야 외에 에너지, 생활가전, 건축, 자동차, 일반 산업분야 등 다양한 산업분야에 적용이 가능한 장비 및 소스 기술입니다.

에이티(주)의 진공증착장비 및 증착소스 기술은 터치필름 및 디스플레이, 전자소자 등 IT 산업분야 외에 에너지, 생활가전, 건축, 자동차, 일반 산업분야 등 다양한 산업분야에 적용이 가능한 장비 및 소스 기술입니다.