"성실과 신뢰를 바탕으로 기술 창조, 고객과 함께 하는 에이티㈜가 함께 하겠습니다."
ILSI Series
응용제품 분야
에이티㈜의 ILSI series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 물질을 연속으로 증착할 수 있어 다양한 산업분야의 응용제품에 적용할 수 있습니다.
가전제품 분야 | 가전제품 및 모바일기기 외장재 Decorative 증착 |
에너지분야 | 건축용 윈도우글라스, 태양전지 |
기타 산업분야 | 금속 박막 및 산화물 박막, 다층박막 증착 기반의 응용분야 |
장비 사양
에이티㈜의 ILSI series 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.
Chamber 형태 | 수직 및 수평방식의 멀티 챔버 | |||
적용기재 | Glass 및 Wafer, 기타 플라스틱, 금속 기재 | |||
Core 크기 | 3인치, 6인치 | |||
기판 크기 | 수직형 | 2,200mm x 2,500mm | ||
수평형 | 1,500mm x 1,800mm | |||
Tact time | 60 sec 이내 (정지성막) 35 sec 이내 (이동성막) |
|||
증착소스 | Sputter Source | Rotary cathode, Planar cathode | ||
Thermal Source | Crucible, E-beam | |||
증착물질 | 금속물질 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag 및 기타 금속물질 | ||
반응성물질 | TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질 | |||
Power Supply | DC, Pulse DC, MF | |||
두께 균일도 | ±10% 이하 (정지성막) ±5% 이하 (이동성막) |
|||
측정기 | 면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA |