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AT(株)技术研究所建立于2007年,是一所致力于研发R2R真空镀膜设备及其他真空镀膜设备、等离子源表面处理和镀膜领域差别化设备制造技术及真空镀膜工艺技术,努力给顾客提供最优质设备技术的部门。
技术研究所一直致力于研发包括PVD(物理气相沉积)及PECVD(等离子体增强化学气相沉积)真空R2R镀膜设备以及In-Line镀膜设备在内的适用于多种领域的工业用真空镀膜设备。为此,本部门积极对沉积源、R2R及In-Line设备的基板传输相关联的机械及PLC/HMI等控制技术在内的核心技术进行研发,以提供最优化的镀膜设备作为主要目标。同时,以丰富的设备制造技术和薄膜镀膜技术为基础,努力为顾客提供满足需求的新型产品以及符合新型产业创收的设备。
  • 主要研究领域
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设备制造技术研发
在在线/ Culster /正常到工业气相沉积设备开发一种可应用于各种工业研发过程研发设备从生产设备,以使设备的大面积的供给真空沉积设备和包括该R2R沉积装置你。
▷ 触摸电影界 : ITO触摸膜,触摸薄膜,金属网
▷ 电子行业 : FCCL,COF等应用
▷ 能源行业 : CIGS太阳能电池,热关断窗膜,Low-E玻璃,锂二次电池
▷ 展示区 : Color Filter, TFT 沉积
▷ 住户部门 : 外部设备 Deco 沉积
▷ 一般行业 : 加工刀具的硬度沉积,外部膜 Deco 沉积
▷ 热处理应用 : 膜的热处理过程中的应用程序后脱气除去
▷ 其他行业 : 钢铁工业
沉积源研发
通过不断的研发,AT(株)技术研究所已经完全掌握了应用于R2R镀膜设备及In-Line / Cluster /一般工业用镀膜设备中的线性热沉积源及热处理加热器、溅射装置、线性离子源等镀膜设备的核心技术。同时也在进行着除PVD以外的PECVD沉积源研发项目,为了能让产品适用于除PVD之外更加广泛的领域,本部门正在对新型沉积源进行不懈的研发。

AT(株)技术研究所为了实现不同沉积源和热处理源的最优化,正在将3次元simulation tool运用到研发中,努力为顾客提供满足需求的镀膜设备。

▷ 热沉积来源 :线性热沉积源
▷ 热处理来源 :卤素取暖器,近红外加热器,护套和金属加热器
▷ 等离子表面处理源 : DC, Puylse DC, AC, RF等离子体源
▷ 溅射源 : 磁控溅射源
▷ PECVD 酱 : CCP 法, 线性等离子体蒸镀源

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  • 研发应用领域

AT(株)的真空镀膜设备及沉积源技术可以应用于触摸膜及显示器、电子元器件等IT产业领域,以及能源、生活家电、建筑、汽车、一般产业领域等多个领域之中。

AT(株)的技术研究所一直致力于研发,努力在更广泛的领域内为顾客提供满足需求的技术以及新产品。此外,为了实现设备国产化,一些以研发和政府研究课题为依托的新产业设备研发项目以及满足顾客需求的事先研发测试也在进行之中。