真空蒸镀设备的簇AT Co,.Ltd.设备被配置为PECVD法和PVD，热蒸发，等离子表面处理以沉积各种材料的来源。

AT（株）的 Cluster真空镀膜设备以自身的等离子表面处理技术以及PVD镀膜技术为基础，可以运用于玻璃以及多种平板产品的生产过程中。 Cluster真空镀膜设备的应用领域主要有显示器领域以及OLED照明等多种平板产品多层镀膜领域

AT（株）的 Cluster镀膜设备可以根据顾客所需求的规格进行制造，能够在最大程度上提升产品生产的效率。