ILSR series由多个真空腔组成,可以实现单层薄膜和多层薄膜的连续镀膜以及金属和活性物质的连续镀膜。ILSR series适用于显示器的TFT以及Color Filter

产品规格 | Application Products

AT(株)的ILSR series设备可以实现金属材料或活性材料的连续镀膜,能够运用于AMOLED以及LCD产品、TFT / Color Filter工艺之中。此外,也可以作为生产设备运用于触控产品领域和能源领域。

展示区 TFT和 Color Filter (AMOLED, LCD)
触摸领域 IM-ITO
其他行业 可再生能源与太阳能

设备规格 | System Specifications

AT(株)的 ILSR series 镀膜设备可以根据顾客所需求的规格进行制造,能够在最大程度上提升产品生产的效率。以下是设备制造以及供应时的基本规格。

Chamber 板 多室系统中的垂直和水平
基于应用程序 Glass 및 Wafer, 等塑料
金属基底基板尺寸 立式 2,200mm x 2,500mm
수卧式 1,500mm x 1,800mm
Tact time 60 sec (停止沉积) 35 sec 在(移动的帐幕)
沉积源 Sputter source Rotary cathode, Planar cathode
Thermal source Crucible, E-beam
沉积材料 金属材料 Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 等金属材料
反应物质 TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 其他氮化物/氧化物材料
Power supply DC, Pulse DC, MF
厚度均匀性 ±10% 或更低(静止膜) ±5% 或以下(见膜)
测量仪器 表面电阻,光(传输,反射,色差计),等离子体发射显示器,RGA