ILSI series由多个真空腔组成,可以实现单层薄膜和多层薄膜的连续镀膜以及金属和活性材料的连续镀膜。

产品规格 | Application Products

AT(株)的ILSI series 设备能够实现金属材料或活性材料的连续镀膜,可以运用于多种产品领域。

家用电器行业 消费电子和移动设备外观 Decorative 沉积
能源行业 建筑窗户玻璃,太阳能电池
其他行业 基于应用的金属薄膜和氧化物薄膜,多层薄膜沉积

设备规格 | System Specifications

AT(株)的 ILSI series 镀膜设备可以根据顾客所需求的规格进行制造,能够在最大程度上提升产品生产的效率。以下是设备制造以及供应时的基本规格。

Chamber 表 多室系统中的垂直和水平
基于应用程序 Glass and Wafer, 其他塑料,金属底座
金属基底基板尺寸 立式 2,200mm x 2,500mm
수卧式 1,500mm x 1,800mm
Tact time 60 sec (停止沉积) 35 sec 在(移动的帐幕)
沉积源 Sputter source Rotary cathode, Planar cathode
Thermal source Crucible, E-beam
沉积源 金属材料 Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 等金属材料反应物质
反应物质 TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 其他氮化物/氧化物材料
Power supply DC, Pulse DC, MF
厚度均匀性 ±10% 厚度均匀性 ±5% 或以下(见膜)
测量仪器 表面电阻,光(传输,反射,色差计),等离子体发射显示器,RGA