TORI series设备可以实现单层镀膜和活性物质镀膜,适用于大面积/薄的聚合物薄膜应用领域。

产品规格 | Application Products

AT(株)所生产的TORI series设备能够实现金属物质或者活性材料的双重连续镀膜,可以运用到不同产品之中。

IT 部门 触摸金属网片,金属布线显示
能源行业 隔热膜
其他行业 大面积的室内室外应用

设备规格 | System Specifications

AT(株)的R2R镀膜设备可以根据顾客所需求的规格进行制造,能够在最大程度上提升产品生产的效率。以下是设备制造以及供应时的基本规格。

Chamber 表 Circular type single chamber
基于应用程序 PET, PI, 吉他 Flexible polymer 胶卷
Core 尺寸 3英寸, 6英寸
衬底规格 长短 厚薄
Max. 1,850㎜ Max. ø750㎜ Min. 12㎛
行驶速度 Max. 50m/min
预处理方法 预加热 Max. 200℃
等离子表面处理 DC, Pulse DC 等离子表面处理, Linear Ion beam source
沉积源 Sputter source

Single planar cathode
Dual planar cathode
Single rotary cathode
Dual rotary cathode

Thermal source Crucible, E-beam
辅助等离子体源 Plasma assist source
沉积材料 金属材料 Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 等金属材料
等金属材料 TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 其他氮化物/氧化物材料
Power supply DC, Pulse DC, MF
Pump 设备要求适当 pump选择
测量 表面电阻,(透射率,反射率,色差计),等离子体发射显示器, RGA