TORI series设备可以实现单层镀膜和活性物质镀膜,适用于大面积/薄的聚合物薄膜应用领域。
产品规格 | Application Products
AT(株)所生产的TORI series设备能够实现金属物质或者活性材料的双重连续镀膜,可以运用到不同产品之中。
IT 部门 | 触摸金属网片,金属布线显示 |
能源行业 | 隔热膜 |
其他行业 | 大面积的室内室外应用 |
设备规格 | System Specifications
AT(株)的R2R镀膜设备可以根据顾客所需求的规格进行制造,能够在最大程度上提升产品生产的效率。以下是设备制造以及供应时的基本规格。
Chamber 表 | Circular type single chamber | ||
基于应用程序 | PET, PI, 吉他 Flexible polymer 胶卷 | ||
Core 尺寸 | 3英寸, 6英寸 | ||
衬底规格 | 幅 | 长短 | 厚薄 |
Max. 1,850㎜ | Max. ø750㎜ | Min. 12㎛ | |
行驶速度 | Max. 50m/min | ||
预处理方法 | 预加热 | Max. 200℃ | |
等离子表面处理 | DC, Pulse DC 等离子表面处理, Linear Ion beam source | ||
沉积源 | Sputter source |
Single planar cathode |
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Thermal source | Crucible, E-beam | ||
辅助等离子体源 | Plasma assist source | ||
沉积材料 | 金属材料 | Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 等金属材料 | |
等金属材料 | TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 其他氮化物/氧化物材料 |
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Power supply | DC, Pulse DC, MF | ||
Pump | 设备要求适当 pump选择 | ||
测量 | 表面电阻,(透射率,反射率,色差计),等离子体发射显示器, RGA |