에이티(주) 기술연구소는 2007년 설립되어 R2R 진공 증착 장비 및 기타 진공증착 장비, 플라즈마 소스를 이용한 표면처리와 증착 분야에 차별화된 장비 제조기술 및 진공 증착 공정기술을 개발하여 최적화된 장비 기술을 제공하기 위해 끊임 없는 연구 개발을 진행하고 있습니다.
  • 3D Simulation | 기구 유한 요소 / 열 / 장장구조 해석
증착장비의 중요한 기구의 안정성 및 스퍼터 증착소스의 자장 구조에 대해 효율적인 특성을 확보하기 위해 3차원 해석을 통한 선행 작업을 진행하여 최적화된 장비 및 증착 소스 공급에 주력하고 있습니다.
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  • 신규 장비 공정 개발 | 신규 증착 장비 / 증착 소스 / 장비공정 개발
고객의 신규 제품에 적합한 장비를 제조하기 위해 다양한 증착장비 및 증착 소스를 개발하고 있으며, 당사에서 보유한 장비를 활용한 선행 테스트를 통해 증착박막의 특성 평가 및 분석 등을 지원하고 있습니다.

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▷ 신규 장비 개발 : 신규 R2R  / In-Line / Cluster / 일반 산업분야 증착장비
▷ 신규 소스 개발 : 표면처리 플라즈마소스 및 열처리소스 / 선형열증착원 / 스퍼터소스 / PECVD / 하이브리드 플라즈마소스
▷ 제품 선행 개발 지원 : 보유 기술 활용 개발 지원 / 신규 증착소스에 의한 신제품 개발 지원 / 신규 제품 기초 공정개발 지원
▷ 정부지원 과제 참여 : 국책과제 산-산-학-연 컨소시엄 구성 및 공동개발 참여

  • 제품 응용 분야 공정 개발 | 제품 응용 분야 공정 개발
에이티(주) 기술연구소에서는 장비 공급에 따른 장비 공정 최적화와 생산 제품의 특성 최적화를 위한 공정 기술을 함께 지원해 드리고 있습니다. 이에 기술연구소는 증착 박막의 특성 및 응용 제품의 특성 개선을 위한 박막 공정 기술을 지원해 드리기 위해 다양한 생산 장비 개발 과제를 통해 박막 기술을 함께 개발하고 있습니다.