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에이티(주) 기술연구소는 2007년 설립되어 R2R 진공 증착 장비 및 기타 진공증착 장비, 플라즈마 소스를 이용한 표면처리와 증착 분야에 차별화된 장비 제조기술 및 진공 증착 공정기술을 개발하여 최적화된 장비 기술을 제공하기 위해 끊임 없는 연구 개발을 진행하고 있습니다.
기술연구소는 PVD(물리가상증착) 및 PECVD(플라즈마 환경 화학가상증착) 방식을 적용한 진공 R2R 증착장비 및 In-Line 증착 장비를 비롯하여 다양한 산업분야에 적용할 수 있는 산업용 진공 증착 장비 개발에 노력하고 있습니다. 이를 위해 주요 증착 소스 개발과 R2R 및 In-Line 장비의 기관 이송에 대한 기구 및 PLC/HMI 등 제어기술 개발 등 핵심 기술을 내제화 하여 최적화된 증착 장비 공급을 주요 목표로 하고 있으며, 축적된 장비 제작 기술과 박막증착 기술을 기반으로 고객의 니즈에 부합하는 신규 제품 개발 및 신규 사업 창출에 적합한 장비를 제작하기 위한 노력을 하고 있습니다.
  • 주요 연구 분야
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장비 제조기술 개발
R2R 증착장비를 비롯한 In-Line / Culster / 일반 산업용 증착장비에 이르기까지 다양한 산업에 적용할 수 있는 진공 증착 장비를 개발하여 R&D 장비부터 양산장비까지 넓은 분야의 장비 공급이 가능하도록 연구개발을 진행하고 있습니다.
▷ 터치필름분야 : ITO 터치필름, 메탈메쉬 터치필름
▷ 전자소자분야 : FCCL, COF, 기타 응용제품
▷ 에너지분야 : CIGS 태양전지, 열차단 윈도우필름,
   Low-e Glass, 리튬이차전지
▷ 디스플레이분야 : Color Filter, TFT 증착
▷ 생활가전분야 : 가전제품 외장재 Deco 증착
▷ 일반산업분야 : 가공 Tool 고경도 증착, 외장재 필름 Deco 증착
▷ 열처리응용분야 : 필름 outgas 제거, 후열처리 공정 응용분야
▷ 기타 산업분야 : 철강산업 분야
증착소스 개발
R2R 증착장비 및 In-Line / Cluster / 일반 산업용 증착장비에 다양하게 적용되고 있는 선형열증착원 및 열처리 히터, 스퍼터, 선형이온빔 소스 등 증착장비의 핵심기술은 에이티(주) 기술연구소에서 기술개발을 통해 내제화하였으며, 장비 특성을 더욱 개선하기 위한 연구를 진행하고 있습니다. 또한, PVD 외에 PECVD 소스 개발을 진행하여 PVD 외에 넓은 분야의 제품 생산에 적용할 수 있도록 신규 소스 개발을 지속적으로 진행하고 있습니다.
에이티(주) 기술연구소는 다양한 증착소스 및 열처리 소스를 최적화기 위해 3차원 simulation tool을 사용하여 연구개발에 활용하고 있으며, 고객의 니즈에 적합한 증착장비를 개발하고자 노력하고 있습니다.

▷ 열증착원 : 선형열증착원
▷ 열처리 소스 : 할로겐 히터, 근적외선 히터, Sheath 및 금속성 히터
▷ 플라즈마 표면처리 소스 : DC, Puylse DC, AC, RF 플라즈마 소스
▷ 스퍼터 소스 : 마그네트론 스퍼터 소스
▷ PECVD 소스 : CCP 방식, 선형 플라즈마 기상증착 소스

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  • 연구개발 응용 분야

에이티(주)의 진공증착장비 및 증착소스 기술은 터치필름 및 디스플레이, 전자소자 등 IT 산업분야 외에 에너지, 생활가전, 건축, 자동차, 일반 산업분야 등 다양한 산업분야에 적용이 가능한 장비 및 소스 기술입니다.

에이티(주)의 기술연구소는 이외의 더 넓은 분야에 기술 적용과 새로운 제품 개발 등의 고객 니즈에 발맞춰 다양한 연구개발에 끊임없이 노력하고 있습니다. 또한, 장비 국산화를 위한 연구개발과 정부 출연 연구 과제를 통한 신사업 아이템 개발, 고객 요구에 맞는 선행 개발 테스트를 지원하고 있습니다.