에이티㈜는 장비에 적용되는 Plasma treatment source를 장비와 별도의 제품으로 공급을 하고 있습니다. 다년간 장비 제조기술을 바탕으로 다양한 roll-to-roll 및 in-line 장비에 적용할 수 있는 최적화된 플라즈마 소스로 제공하고 있습니다. Plasma treatment source는 DC bombardment 및 Pulse DC bombardment의 형태로 제공하고 있으며, 일반 진공증착장비, In-line 스퍼터장비, R2R 스퍼터장비 및 Cluster 증착장비 등 다양한 진공장비에 적용할 수 있습니다.

제품 사양 | Product Specifications
구분 DC 플라즈마 소스 Pulse DC 플라즈마 소스
전원장치 DC Pulse DC
Backing plate Direct cooling type Direct / Indirect cooling type
최대길이 2,500mm
적용장비 In-line / R2R / Cluster / 일반산업용 증착장비
응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 Plasma treatment source는 다양한 산업분야에 적용이 가능한 플라즈마 소스입니다. 플렉시블 폴리머 필름부터 스테인리스 강판까지 다양한 기재에 플라즈마 소스를 적용할 수 있으며, 기재의 플라즈마 표면처리 소스로 활용이 가능합니다.

응용분야 디스플레이, 전자소자부품, 신재생에너지, 자동차산업, 철강산업, 생활가전 분야
적용기재 플렉시블 폴리머 필름, Glass 및 평판형 기재, 형상화된 사출품, 스테인리스 강판
적용방식 플라즈마 표면처리, 에칭공정, 플라즈마 보조 소스