에이티㈜는 생산에 적합한 진공증착장비 뿐만 아니라 다양한 연구개발이 가능하도록 R&D 진공장비를 공급하고 있습니다. 진공증착장비부터 열처리장비까지 대학교, 연구기관 및 기타 산업체에서 요구하는 연구개발 혹은 선행개발에 적합하도록 다양한 방식의 진공 공정 소스들을 적용하여 증착 및 열처리 등 다양한 연구개발에 적용 가능한 장비로 활용이 가능합니다.

응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 R&D 진공장비는 고객의 니즈에 적합한 연구개발이 가능하도록 주문제작 방식으로 공급을 하고 있습니다. 스퍼터링, 열증착방식, PECVD, 열처리 등 다양한 진공 공저압ㅇ식을 적용할 수 있으며 플랙시블 소재, 유리기판 및 웨이퍼, 형상화된 기재까지 다양한 소재의 연구개발 및 선행개발이 가능한 장비의 적용이 가능하도록 구성되어 있습니다.

장비 사양 | System Specifications

에이티㈜의 R&D 증착장비 제작 방식은 고객의 연구목적에 효율적으로 수행할 수 있도록 최적화된 제품을 공급할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다.