에이티㈜의 Cluster 진공증착 장비는 다양한 물질을 증착하기 위해 PVD와 PECVD, 열증착, 플라즈마 표면처리를 위한 소스로 구성된 장비입니다.

응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 Cluster 진공증착 장비는 자체 보유한 플라즈마 표면처리 및 PVD 증착기술을 바탕으로 유리 및 다양한 평판형 제품에 적용이 가능한 장비입니다. Cluster 진공증착 장비의 응용분야는 디스플레이 분야 및 OLED 조명 등을 비롯하여 다양한 평판형 제품의 다충박막 증착에 적합한 장비입니다.

장비 사양 | System Specifications

에이티㈜의 Cluster 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다.