에이티㈜의 산업용 진공증착 장비는 아크이온플레이팅 및 마그네트론 스퍼터의 증착방식을 이용하여 외장재 분야에 다양하게 응용할 수 있습니다. 플라스틱의 형상화된 기재와 다양한 금속기반의 기재 표면에 플라즈마 표면처리에 의한 표면개질과 PVD 증착방식을 이용하여 고경도 증착과 가전제품 외장재 등의 Decoration 분야로 적용이 가능한 장비입니다.

응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 산업용 진공증착 장비는 자체 보유한 플라즈마 표면처리 및 PVD 증착기술을 바탕으로 다양한 외장재 제품에 대한 제품 생산이 가능한 장비입니다. 산업용 진공증착 장비의 응용분야는 자동차 내외장재, 가전제품 외장재의 Decoration 제품, 가공 Tool에 대한 고경도 특성의 제품 생산이 가능한 장비입니다. 또한, 에이티㈜가 보유한 스테인리스 판재에 대한 진공증착 기술을 이용하여 강판 응용분야의 증착 제품의 확대가 가능합니다.

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장비 사양 | System Specifications

에이티㈜의 산업용 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.

Chamber 형태 사양 협의에 따라 선정
적용기재 형상화된 플라스틱 기재 및 금속성 기재
표면처리 DC, Pulse DC 플라즈마 표면처리, Linear Ion beam Source
전처리 방식 Max. 900℃
증착소스 Sputter source Single planar cathode / Dual planar cathode Single rotary cathode / Dual rotary cathode
Arc source Circular type arc ion plating source
플라즈마 보조소스 Plasma assist source
증착물질 금속물질 Ti, Cr, Al, Cu, Moly, 기타 금속물질
반응성물질 TiN, CrTiN, CrTiAlN, SiO2, Si3N4, Al2O3, 기타물질
Power supply DC, Pulse DC, MF
Pump 장비 요구사양에 적합한 pump 선정