ILSR series는 단일박막 및 다층박막의 연속증착이 가능하도록 구성되어 있으며, 금속 및 반응성 물질이 연속적으로 증착이 가능하도록 구성된 멀티 챔버 구성의 장비입니다. ILSR series는 디스플레이의 TFT 및 Color Filter에 적합하도록 구성이 되어 있습니다.

응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 ILSR series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 물질을 연속으로 증착할 수 있어 AMOLED 및 LCD 제품에 적용이 가능하며, TFT / Color Filter 공정에 적용이 가능합니다. 또한, 터치제품 분야와 에너지 분야에 생산장비로 적용이 가능합니다.니다.

디스플레이 분야 TFT 및 Color Filter (AMOLED, LCD)
터치제품 분야 IM-ITO
기타 산업분야 신재생에너지 및 태양광에너지
장비 사양 | System Specifications

에이티㈜의 ILSI series 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.

Chamber 형태 수식 및 수평방식의 멀티 챔버
적용기재 Glass 및 Wafer, 기타 플라스틱 및 금속 기재
기판 크기 수직형 2,200mm x 2,500mm
수평형 1,500mm x 1,800mm
Tact time 60 sec 이내 (정지성막)
35 sec 이내 (이동성막)
증착소스 Sputter source Rotary cathode, Planar cathode
Thermal source Crucible, E-beam
증착물질 금속물질 Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 기타 금속물질
반응성물질 TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질
Power supply DC, Pulse DC, MF
두께 균일도 ±10% 이하 (정지성막)
±5% 이하 (이동성막)
측정기 면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA