ILSI series는 단일박막 및 다층박막의 연속증착이 가능하도록 구성되어 있으며, 금속 및 반응성 물질이 연속적으로 증착이 가능하도록 구성된 멀티 챔버 구성의 장비입니다.

에이티㈜의 ILSI series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 물질을 연속으로 증착할 수 있어 다양한 산업분야의 응용제품에 적용할 수 있습니다.

가전제품 분야	가전제품 및 모바일기기 외장재 Decorative 증착
에너지분야	건축용 윈도우글라스, 태양전지
기타 산업분야	금속 박막 및 산화물 박막, 다층박막 증착 기반의 응용분야

에이티㈜의 ILSI series 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.

Chamber 형태	수식 및 수평방식의 멀티 챔버
적용기재	Glass 및 Wafer, 기타 플라스틱, 금속 기재
기판 크기	수직형	2,200mm x 2,500mm
	수평형	1,500mm x 1,800mm
Tact time	60 sec 이내 (정지성막) 35 sec 이내 (이동성막)
증착소스	Sputter source	Rotary cathode, Planar cathode
	Thermal source	Crucible, E-beam
증착물질	금속물질	Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag, 기타 금속물질
	반응성물질	TiO2, Nb2O5,SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질
Power supply	DC, Pulse DC, MF
두께 균일도	±10% 이하 (정지성막) ±5% 이하 (이동성막)
측정기	면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA