TITAN Series는 단일박막 및 다층박막의 연속증착이 가능하도록 구성되어 있으며, 금속 및 반응성물질이 연속적으로 증착이 가능하도록 구성된 단일 진공챔버 구성의 장비입니다.

에이티㈜의 TITAN series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 이종물질을 연속으로 증착할 수 있어 다양한 산업분야의 응용제품에 적용할 수 있습니다.

IT 분야	IM-ITO 및 메탈메쉬 터치필름, 디스플레이 금속배선
에너지분야	박막태양전지, Li 2차 전지
기타 산업분야	다층박막 증착 기반의 응용분야

에이티㈜의 R2R 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.

Chamber 형태	Rectangular Type Single Chamber
적용기재	PET, PI, 기타 Flexible Polymer 필름 및 금속필름
Core 크기	3인치, 6인치
기재사양	폭	길이	두께 (Polymer)	두께 (금속)
	Max. 1,350㎜	Max. ø550㎜	Min. 23㎛	10㎛ ~ 400㎛
주행속도	Max. 20m/min
전처리방식	전열처리	Max. 200℃
	플라즈마 표면처리	DC, Pulse DC 플라즈마 표면처리, Linear Ion Beam Source
증착 소스	Sputter Source	Single Planar Cathode Dual Planar Cathode Single Rotary Cathode Dual Rotary Cathode
	Thermal Source	Crucible, E-Beam
	플라즈마 보조소스	Plasma Assist Source
증착물질	금속물질	Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag 및 기타 금속물질
	반응성물질	TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질
Power Supply	DC, Pulse DC, MF
Pump	장비 요구사양에 적합한 Pump 선정
측정기	면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA
Web Align	EPC Module