MENTO Seires는 다양한 플랙시블 기재를 사용할 수 있는 장비로 다양한 금속물질을 사용하거나 공정분위기가 유사한 반응성물질을 증착할 수 있는 R2R 증착 장비입니다.

응용제품 분야 | Application Products

에이티㈜의 MENTO-M Series는 금속물질 혹은 반응성물질로 구분하여 이종물질을 연속으로 증착할 수 있어 다양한 산업분야의 응용제품에 적용할 수 있습니다.

IT 분야 ITO 터치필름, 메탈메쉬, 디스플레이 금속배선, 반사판
에너지분야 윈도우필름, 박막태양전지, Li 2차 전지
전자소자분야 FCCL, 전자파차폐 필름
기타 산업분야 인테리어 외장재 응용분야
장비 사양 | System Specifications

에이티㈜의 R2R 증착장비 제작 방식은 고객의 생산 제품을 최적의 효율로 생산할 수 있도록 주문자 요청 사양에 기반을 두고 있습니다. 이를 기반으로 아래의 공통 사양을 반영하여 장비 제작 및 공급을 하고 있습니다.

Chamber 형태 Circular Type Single Chamber
적용기재 PET, PI, 기타 Flexible Polymer 필름 및 금속필름
Core 크기 3인치, 6인치
기재사양 길이 두께 (Polymer) 두께 (금속)
Max. 1,350㎜ Max. ø550㎜ Min. 23㎛ 100㎛ ~ 400㎛
주행속도 Max. 20m/min
전처리방식 전열처리 Max. 200℃
플라즈마 표면처리 DC, Pulse DC 플라즈마 표면처리, Linear Ion Beam Source
증착소스 Sputter Source Single Planar Cathode / Dual Planar Cathode Single Rotary Cathode / Dual Rotary Cathode
Thermal Source Crucible, E-Beam
플라즈마 보조소스 Plasma Assist Source
증착물질 금속물질 Al, Ti, Cr, Cu, NiCr, Ni, Ag 및 기타 금속물질
반응성물질 TiO2, Nb2O5, SiO2, ITO, SiAlOx, MoOx 및 기타 질화/산화물질
Power Supply DC, Pulse DC, MF
Pump 장비 요구사양에 적합한 Pump 선정
측정기 면저항, 광학(투과율, 반사율, 색차계), 플라즈마방출모니터, RGA